主題演講：真空傳感器仿真
時長： 27:29
半導體芯片制造和量子計算的先進生產過程均依賴于高真空環境。在 COMSOL 用戶年會 2023 慕尼黑站的主題演講中，來自 INFICON 的 Martin Wüest 博士討論了如何借助多物理場仿真開發一種性能更優的，用于測量高真空環境壓力的電離真空計 IRG080。
在重點介紹創新地 IRG080 技術之前，Wüest 首先介紹了 INFICON 公司以及真空技術的廣泛應用。然后，他簡要介紹了他的團隊進行的模擬，包括真空壓力傳感器的力學模擬和印刷電路板的熱模擬。在演講的后半部分，他重點介紹了 IRG080 的開發和設計，這是第一個適合作為真空計和質譜儀校準參考標準的電離真空計。
Martin Wüest 在瑞士伯爾尼大學（University of Bern）獲物理學博士學位，目前是列支敦士登 INFICON 公司真空控制業務部門的傳感器技術主管。
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