5G 通信 MEMS 濾波器振動模態仿真和測量

在 2024 年 COMSOL 微電子器件主題日的主題演講視頻中，來自上海交通大學的邵磊介紹了 COMSOL 在 MEMS 諧振器超高頻振動模態研究中的應用。由于 5G 濾波器中超高頻振動器件存在品質因子低、雜散振動多、機電耦合系數低等難點問題，在 4 – 6 GHz 范圍內少有性能優異的產品。本次演講介紹了 MEMS 諧振器的測量表征和仿真分析等工作，對比了實驗和 COMSOL 仿真結果，提出了雜散振動模態的動態行為和演變規律，為這類關鍵器件的設計優化提出了新理論和方法。