MEMS 加速度計的靜電吸合效應仿真分析

在 2024 年 COMSOL 微電子器件主題日的主題演講視頻中，來自上海矽?？萍脊煞萦邢薰镜陌才d介紹了 MEMS 加速度計中的靜電吸合效應仿真。隨著 MEMS 慣性傳感器尺寸越來越小，在挑戰工藝極限的同時也對系統穩定性提出很高的要求。電容檢測式加速度計極板間的關鍵尺寸越小，靈敏度越高，同時靜電吸合的風險也越大。本次演講介紹了 MEMS 加速度計的靜電激勵微結構設計，并將吸合效應的 COMSOL 仿真結果與實測數據進行對比驗證。